Задать вопрос
mail@ncwt.ru (напишите нам)
8 (800) 555-32-60 (звонок по России бесплатный)
8 (343) 201-38-01 (Телефон головного офиса)

Водоподготовка для микроэлектроники

Для микроэлектроники и электронной промышленности в большинстве случаев используется глубоко деионизированная (дистиллированная) вода в соответствии с ОСТ 11.029.003-80 или по американскому стандарту ASTM D-5127-90.

Микроэлектроника.jpgВ зависимости от технологического процесса может требоваться получение воды разной степени деионизации: от дистиллированной воды (электропроводность – до 5 мкСм/см, электрическое сопротивления – от 200 кОм*см) до сверхчистой (электрическое сопротивление – 12-18 МОм*см).

Если раньше для получения такой воды использовались технологии на основе выпаривания и вакуумного выпаривания, технологический процесс которого отличался высокими капитальными затратами и удельной стоимостью полученной воды (примерно 40-50 кВт на 1 м3 очищенной воды), то сейчас развитие технологий позволяет существенно удешевить этот процесс за счет использования так называемой мембранной дистилляции, основанной на природе осмоса.

В тех случаях, когда требуется получение воды более глубокой очистки и сверхчистой воды, после мембранного дистиллятора устанавливается одна или несколько последовательно подключенных колонн с ионообменной смолой в Н+ и ОН- форме. Благодаря стабильно высокому качеству воды на выходе со второй ступени мембранного дистиллятора, ресурс ионообменных смол в Н+ и ОН- форме становится очень высоким.Микроэлектроника 2.jpg

Необходимо учитывать тот факт, что используемые для доочистки ионообменные смолы обладают высокой стоимостью, и в таком случает использование перед ними мембранных дистилляторов на основе установок двухступенчатого обратного осмоса позволяет существенно снизить эксплуатационные затраты на замену и регенерацию смол.

В идеале установка колонн с ионообменными смолами, используемыми для деионизации остаточного пермеата мембранных дистилляторов, должна располагаться в непосредственной близости от потребителей сверхчистой воды, что объясняется коротким периодом «жизни» сверхчистой воды. Дело в том, что даже во время короткого контакта с окружающим воздухом сверхчистая вода вбирает в себя углекислый газ, который в воде преобразуется в гидрокарбонаты и впоследствии может снизить удельное сопротивление воды.

Альтернативной «связкой» при получении подготовленной воды с высокими показателями чистоты является комбинирование технологии мембранной дистилляции и электродеионизации, однако при стабильно высоком результате очистки полученной воды этот метод имеет некоторые ограничения вследствие больших капитальных затрат на его внедрение.

Чаще всего нами используется следующее оборудование собственного производства в разных комбинациях:

  • установки непрерывной электродеионизации воды;
  • напорные фильтры на основе ионообменных смол, комбинированных загрузок;
  • автоматические двухступенчатые мембранные установки нового поколения серии «АЙСБЕРГ», имеющие существенно больший ресурс мембранных элементов в сравнении со стандартными установками обратного осмоса.
Научно-производственное предприятие «НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ВОДНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ» успешно реализует задачи в области водоочистки и водоподготовки для микроэлектроники и других производств, позволяя обеспечивать их водой высокого качества практически в любых условиях.

Справочная информация

Требования к качеству воды для электронной промышленности по ОСТ 11.029.003-80 и ASTM D-5127-90

Параметры воды Марка воды по ОСТ 11.029.003-80 Марка воды по нормам ASTM D-5127-90
А Б В Е-1 Е-2 Е-3 Е-4
Удельное сопротивление при температуре 20°С, МОм*см 18 10 1 18 17,5 12 0,5
Содержание органических веществ (окисляемость), мг O2/л, не более 1 1,5
Общий органический углерод, мкг/л, не более  
 
 
25 50 300 1000
Содержание кремниевой кислоты (в пересчете на SiO3-2), мг/л, не более 0,01 0,05 0,2 0,005 0,01 0,05 1
Содержание железа, мг/л, не более 0,015 0,02 0,03
Содержание меди, мг/л, не более 0,005 0,001 0,002 0,5
Содержание микрочастиц с размером 1-5 мкм, шт/л, не более 20 50 не регламент.  
 
 
 
Содержание микроорганизмов, колоний/мл, не более 2 8 не регламент.  
 
 
 
Хлориды, мкг/л, не более  
 
 
1 10 1000
Никель, мкг/л, не более  
 
 
0,1 1 2 500
Нитраты, мг/л, не более  
 
 
1 5 500
Фосфаты, мг/л, не более  
 
 
1 5 500
Сульфат, мг/л, не более  
 
 
1 5 500
Калий, мкг/л, не более  
 
 
2 5 500
Натрий, мкг/л, не более  
 
 
0,5 1 5 500
Цинк, мкг/л, не более  
 
 
0,5 1 5 500

Наши специалисты с радостью ответят на любые имеющиеся у вас вопросы в области водоочистки и водоподготовки воды в электронной промышленности, а также предложат лучшие технологические решения. Просто позвоните нам или отправьте запрос по электронной почте.


Назад в раздел